SPC（材料制备中的结晶化技术）

SPC（材料制备中的结晶化技术）

固相结晶化（SPC）是一种通过高温退火处理将非晶硅薄膜转化为多晶硅薄膜的材料制备技术 。该技术通常先通过化学气相沉积（如LPCVD）在约550℃沉积非晶硅薄膜，随后在600℃以上的高温下使其结晶 。SPC技术被列入《产业关键共性技术发展指南（2011年）》 ，主要应用于需使用石英或单晶硅基底的高温器件制备领域，同时也应用于多晶硅薄膜太阳电池的研发。SPC工艺成本低且简单，但需在高温（通常达1100℃）下长时间退火，因此不适用于玻璃基底。利用该方法制得的多晶硅晶粒尺寸与薄膜厚度、结晶温度及初始材料的无序程度相关，晶面取向随机，通常需要进行氢化处理来提高其性能 。截至2020年，SPC技术也用于制备具有高表面积和金属分散性的Ni/Mg-Al催化剂，并应用于CH₄自热重整 。

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