高精度微型差动电感式位移传感器
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高精度微型差动电感式位移传感器由一个传感器和电路板式目标物组成,是基于变气隙原理的非接触式检测设备。该传感器采用桥式接法与相敏检波技术实现高精度、高灵敏度的测量特性,封装设计使其能在油、水、灰尘等恶劣工业环境中稳定工作。通过差动联接方式有效消除单传感器测量误差,同时拓展线性测量范围 ,其测量范围可达±1至25毫米,线性度可达±1微米 。有研究通过多目标优化算法为其建立的数学模型,使传感器非线性度达到0.16% 。部分传感器控制器可与LVDT等传感器配合使用,防护等级达到IP67 。
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